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ASML, 반도체 제조장비 중국에 제공 중단
"미국 규제 우려해 EUV 노광장치 납품 안해"
유럽 최대 반도체 제조장비사 네덜란드 ASML은 반도체 성능을 비약적으로 높이는 차세대 장치의 중국 납품을 중단했다고 닛케이 신문 등이 7일 보도했다.
신문은 관련 부품 등을 공급하는 서플라이 관계자를 인용해 ASML이 중국과 첨단기술 패권을 다투는 미국의 규제를 우려해 이 같은 조치를 취했다고 전했다.
ASML이 최신 반도체 제조장비를 중국에 제공하지 않으면서 고도기술 반도체의 자급화를 모색하는 중국의 계획에 차질이 불가피해졌다고 한다.
복수의 서플라이 관계자에 따르면 ASML은 2019년 말까지 중국 반도체 국유기업 SMIC(中芯國際集成電路製造)에 'EUV(극자외선) 노광장치(露光裝置)'를 공급할 예정이었다.
하지만 ASML이 중국에 최첨단 장비를 출하해 미국을 자극하는 것을 피하기 위해 납품을 일단 보류했다고 관계자는 설명했다.
EUV 노광장치는 현재 ASML이 독점적으로 개발 생산하면서 대체품이 없다고 한다.
반도체 성능 향상을 기하려면 회로선폭을 극도로 미세화하는 것인 중요하다. 선폭이 가늘수록 연산처리 등 능력이 높아지기 때문이다.
하지만 미세화가 진전함에 따라 난도가 급속도로 상승하고 있다. 이런 기술적인 벽을 돌파하기 위한 장비가 EUV 노광장치로 대당 가격이 150억엔(약 1602억원)에 이른다.
SMIC는 회로선폭 14나노미터의 제품 테스트 양산을 올해 개시한 단계이다. 7나노미터 이하 제품을 개발하려면 EUV 기술이 절대적으로 필요한데 EUV 노광장치를 들여오지 못해도 당장 실적에는 별다른 영향은 없다.
그러나 중국 정부의 자금 지원을 배경으로 삼성전자와 TSMC(台灣積體電路製造) 등 선발주자를 추격하려는 계획에는 상당한 타격이 예상된다.
이와 관련해 블룸버그 통신은 ASML이 EUV 노광장치를 중국에 수출하기 위해 필요한 라이선스가 실효됐다고 전했다.
통신은 재래식 무기와 관련 범용제품, 기술의 수출규제에 관한 바세나르 체제 (Wassenaar Arrangement WA)에 참가하지 않는 중국 같은 국가에 기술을 출하하려면 라이선스 취득이 의무화됐다고 지적했다.
로이터 통신은 EUV 노광장치를 중국에 수출하는 허가 기한이 넘었기 때문에 ASML이 네덜란드 정부에 라이선스 갱신을 신청한 것으로 밝혔다.
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